广西快3

您好,欢迎访问森泰纳米科技(深圳)有限公司的网站!

真空镀膜

森泰金属技术专注真空电镀十余年

森泰服务热线:18929387778

森泰真空镀膜
全国服务热线
0755-84077118
二维码
森泰纳米科技(深圳)有限公司
电话:0755-84077118
手机: 18929387778
邮箱:wangyp@mvipsz.com
QQ:466658259
地址:深圳市龙岗区坪地街道吉祥路6号大华工业区F栋
当前位置:首页 > 常见问题

真空镀膜设备有哪些基本技术要求?


发布时间:2019-05-31 15:45:25

真空镀膜设备有哪些基本技术要求呢?森泰镀膜来告诉您。

真空镀膜

1、设备中的真空管道、静态密封零部件(法兰、密封圈等)的结构形式,应符合GB/T6070的规定。

2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管,分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时,应在测量口处安装电场屏蔽装置。

3、如果设备使用的主泵为扩散泵时,应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱

4、设备的镀膜室应设有观察窗,应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的工作情况以及其他关键部位。

5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离化率,提高镀膜材料的利用率,合理匹配沉积源的功率,合理布置沉积源在真空室体的位置。

6、合理布置加热装置,一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。

7、工件架应与真空室体绝缘,工件架的设计应使工件膜层均匀。

8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源,离子轰击电源应具有抑制非正常放电装置,维持工作稳定。

9、真空室接不同电位的各部分间的绝缘电阻值的大小,均按GB/T11164-1999中的4.4.6

10、其他注意事项

1)环境温度:10-30oC

2)相对湿度:不大于75%

3)冷却水进水温度:不高于25oC

4)冷却水质:城市自来水或相当质量的水。

5)供电电源:380V三相50Hz或220V单相50Hz(由所用电器需要而定);电压波动范围:342-399V或198-231V;频率波动范围:49-51Hz。

6)设备所需的压缩空气,液氮,冷水、热水等的压力、温度,消耗量等,均应在产品使用说明书中写明。

7)设备周围环境整洁,空气清洁,不应有引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。

森泰纳米科技(深圳)有限公司是一家专业从事以真空镀膜加工、离子镀膜加工服务为主的港资企业。

推荐产品

免责声明: 本站资料及图片来源互联网文章,本网不承担任何由内容信息所引起的争议和法律责任。所有作品版权归原创作者所有,与本站立场无关,如用户分享不慎侵犯了您的权益,请联系我们告知,我们将做删除处理!

友情链接:中福彩票  盛通彩票网  万家彩票  新2彩票  中福彩票  盛通彩票  万家彩票